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原理：利用受激原子俄歇躍遷退激過程發射的俄歇電子對試樣微區的表面成分進行的定性定量分析

應用：

定性分析---定性分析樣品表面物質的元素種類

定量分析或半定量分析----俄歇電子強度與樣品中對應原子的濃度有線性關系，據此可以進行元

素的半定量分析，AES不是一種很好的定量分析方法，它給出的僅僅是半定量的分析結果。

案例：LED碎片，表面污染物來源診斷